クリーンブース・クリーンルームのクラス・規格について

一口にクリーンルーム・クリーンブースと言っても、それぞれにクラスがあり、いくつかの規格によって名称がつけられています。お客様が希望する条件に合わせ、適切な構造を選択することが重要です。仕様の選定が難しいという場合には環境エンジニアリングが最適なクリーンルーム・クリーンブースをご提案させていただきます。

空気の清浄度を示す「クラス」

クリーンルーム・クリーンブースには、室内の空気の清浄度レベルを表す「クラス」という階級単位が存在します。これは一定空間の中にどれだけの微粒子が浮遊しているのかを表したもので、次項にて解説する「規格」に基づいて名称が与えられます。

クラスを定める「規格」

クリーンルーム・クリーンブースのクラスを表す際に主に使用されるのは、米国で1992年に改訂されたFED-STD-209(米国連邦政府規定)です。FED規格内においてクラス100やクラス1000と呼ばれます。同様の国内規格で言えばJIS B 9920(JIS規格)、ISO 14644-1(ISO規格)が該当します。

規格ごとのクラス名称
FED-STD-209 1ft3の中に0.5μmの微粒子がどれだけ入っているかでクラスの後ろにつく数字が変わります。 クラス100の場合、1ft3中に0.5μm の微粒子が100個ということです。また、1m3は35.31 ft3というふうに単位を換算することができます。
JIS B 9920 粒子径1μmの項目があることがFED-STD-209との違いです。クラス1〜9に分け、数字が小さくなるほど清浄度が高いということを示します。
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