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清浄度クラス
クラス100
クラス1,000
クラス10,000
クラス100,000
寸法 幅(m)
寸法 奥行(m)
寸法 高さ(m)
ご要望
温室度管理
※クリーンルームの場合
一般空調(温度:純正リモコン制御/湿度:制御無し)
精密空調(温度・湿度ともに制御盤のデジタル調整計で制御)
温度 ○℃~○℃ ±○℃
※クリーンルームの場合
湿度 ○℃~○℃ ±○℃
※クリーンルームの場合
室内熱負荷(kw)
※クリーンルームの場合
室内人員(名)
※クリーンルームの場合
局所排気(m3/min)
※クリーンルームの場合
オプション
エアシャワー
パスボックス
機械搬入口
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